激光位移传感器可以测量位移、厚度、振动、距离、直径等精密的几何测量。激光有直线度好的优良特性,同样激光位移传感器相对于我们已知的超声波传感器有更高的精度。
按照测量原理, 激光位移传感器分为激光三角测量法和激光回波分析法, 激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量,而激光回波分析法则用于远距离测量,下面主要介绍激光三角测量原理
激光位移传感器原理之激光三角测量法原理
激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面,经物体反射的激光通过接收器镜头,被内部的CCD线性相机接收,根据不同的距离,CCD线性相机可以在不同的角度下“看见”这个光点。根据这个角度及已知的激光和相机之间的距离,数字信号处理器就能计算出传感器和被测物体之间的距离。
同时,光束在接收元件的位置通过模拟和数字电路处理,并通过微处理器分析,计算出相应的输出值,并在用户设定的模拟量窗口内,按比例输出标准数据信号。如果使用开关量输出,则在设定的窗口内导通,窗口之外截止。另外,模拟量与开关量输出可独立设置检测窗口。
采取三角测量法的激光位移传感器线性精度可达0.1um,分辨率更是可达到0.1μm的水平。例如上海协堡电子生产的H系列中SLDS-H35-15A型的激光位移传感器,它的线性精度±0.1%F.S,重复精度6μm,频率2khz高响应,可适应恶劣环境。